如果有機物含有鹵素等其它元素，則氧化產物還有鹵化氫等。廢氣首先通過蓄熱體加熱到接近熱氧化溫度，而后進入燃燒室進行熱氧化，氧化后的氣體溫度升高，有機物基本上轉化成二氧化碳和水。凈化后的氣體，經過另一蓄熱體，溫度下降，達到排放標準后可以排放。不同蓄熱體通過切換閥或者旋轉裝置，隨時間進行轉換，分別進行吸熱和放熱。

  其原理是把有機廢氣加熱到760攝氏度以上，使廢氣中的VOC氧化分解成二氧化碳和水。氧化產生的高溫氣體流經特制的陶瓷蓄熱體，使陶瓷體升溫而“蓄熱”，此“蓄熱”用于預熱后續進入的有機廢氣。從而節省廢氣升溫的燃料消耗。陶瓷蓄熱體應分成兩個（含兩個）以上的區或室，每個蓄熱室依次經歷蓄熱-放熱-清掃等程序，周而復始，連續工作。蓄熱室“放熱”后應立即引入部分已處理合格的潔凈排氣對該蓄熱室進行清掃（以保證VOC去除率在95%以上），只有待清掃完成后才能進入“蓄熱”程序。